目前精度较高的全自动全站仪（测量机器人），其测角精度和测距标准偏差可达（ ）。
0.5'', 1mm + 1×10^-6×D
1.0'', 2mm + 2×10^-6×D
2.0'', 3mm + 3×10^-6×D
5.0'', 5mm + 5×10^-6×D
根据大地测量类仪器中全站仪的描述，目前精度较高的全自动全站仪如 Leica TCA2003，其精度为 0.5'', 1mm + 1×10^-6×D。
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