中洞法暗挖地铁车站顶梁施工时，以下顶梁结构的施工顺序：
①顶部防水层铺设；
②模板支架施工；
③芯梁底板预制；
④混凝土浇筑；
⑤芯梁部位钢筋绑扎；
⑥芯梁底板安装，正确的是（）。